捕鱼大富翁下载|捕鱼大富翁怎么停服了

项目介绍:面向微纳3D形貌的紫外光刻直写技术与设备

1、项目背景
       随着下一代信息产业?#30446;?#36895;发展,对光电子器件与先进材料的超薄化、轻量化和先进功能提出迫切需求。

       薄型化、轻量化意味着微纳结构的运用。然而,大面积3D微纳结构?#32435;?#35745;与制造面临巨大挑战。?#32043;齲?#22823;面积3D微纳结构涉及海量数据处理与设计。例如,一个超薄导光器件上的微透镜有数千万个以上;一件口径10mm以上的超透镜,含有数十亿到数百亿个数据单元;一幅大尺寸透明电路传感器涉及数十Tb以上的数据量;大口径薄膜成像透镜涉及精确3D形貌,数据量会数量?#23545;?#22823;;第二,将设计数据转换成微纳结构的途径与效率。如何将这么庞大数据直接转换成微纳3D结构?不仅需要高速率海量数据并?#20889;?#29702;、压缩、传输与转化技术,还需转换系统的高精度、可调性与可靠性;第三,工艺技术保障。大面积衬?#35013;?#38543;着不平整度远大于光刻系统的焦深,因此,必须解决衬底不平整性对微结构?#30452;?#29575;和保真度的影响,解决与成像焦深的矛盾,才能实现高保真3D微结构的高效率制备。

       从未?#20174;?#29992;端出发,用于空间观测的大口径薄膜透镜需要3D形貌的微结构制备,用于激光雷达速率提升的结构光器件,需要不同台阶的微结构制备,MEMS传感器需要深图形3D结构的多重对准制备;可穿戴电子、透明电极、柔性微电路需要大面积精密图形高效制备等,牵引出面向微纳3D形貌的紫外激光直写光刻技术与系统的需求。

       国际上,激光直写设备是制备高世代LCD面板光掩模的技术手段,面积达100英寸,线宽?#30452;?#29575;达1.5微米,主要有瑞典MYCRONIC等公司提供。德国海德堡仪器的激光直写设备也主要应用于光掩模制备。这种用于光掩模的激光直写设备的主要功能适合TFT-Array平面图形制备,大面积微纳3D形貌结构和深纹图形制备是一个新技术领域。

面向微纳3D结构的大面积紫外光刻直写设备

2、项目创新点
       该项目提出空间光与位相光的混?#31995;髦品?#27861;,将光刻直写系统的光学?#30452;?#29575;从传统投影系统0.5微米,提高到[email protected]波长;提出基于数字光场调控、通过傅立叶级数?#32440;?#21644;脉冲结构光场叠加曝光的模式,单次扫描光刻获得3D形貌结构的新方法;提出将投影光刻光路、共焦显微光路和光学对准共光路的方式,预检测衬底形貌(不平整度),将衬底形貌参数转换成自动导航数据,不间断飞行直写,不需要步进停顿对准,实现复杂结构的高精度对准和连续光刻制备。

       在上述创新点基础上,自主研制成功?#33487;?#23545;大面积微纳3D形貌的紫外激光直写光刻设备,为大面积光电子器件和材料制备提供必需装备,同时也支持在第三代半导体衬底(翘曲)?#31995;纳?#32441;图形的高速套刻,为氧化物、氮化物衬底的图形光刻提供了先进手段,其中,iG?ra?p?her?1500设备支持70英寸幅面100nm?#30452;?#29575;的3D结构深度0-50微米@50深?#30830;直?#29575;)光刻,将设计数据直接转化成为曝光参数。

微纳3D形貌结构(?#34892;?#32858;光、深孔、仿生)

OLED镂空掩模、结构光器件

       基于自主建立的“微纳柔性制造工艺平台?#20445;?#36890;过大型紫外直写光刻设备,制备大面积纳米压印3D模板,采用柔性纳米UV压印/转印等工艺,研制成功大尺寸透明导电材料、微纳3D光学材料、结构光器件、薄膜聚光薄膜和仿生微纳结?#20849;?#26009;。在照明显示、触控传感、隐身屏幕和OLED镂空金属掩模板等领域应用。
微纳结构设计与制造在功能化新材料、新器件创新中发挥独特作用,推进了多项高性能产业的创新和在相关行业的替代性应用,例如大尺寸柔性(超薄)光电子材料与器件在显示照明、智能?#25442;?#35302;控终端的产业化。


柔性(超薄)照明显示?#25442;?#22120;件上的应用

4、客观评价
       该项目作为国家“863计划”-先进制造领域的标志性成果,受科技部邀请参加了国家“十二五”科技创新成就展和香港、澳门中华科创展。
       科技部万钢部长以及国内外纳米科技领域著名学者专?#20063;?#35266;视差和交流后,认为这是纳米科技领域原创成果填补空白、补短板和产业化的成功例子。

5、结语
       苏大维格一直坚持自主创新的道路,通过产学研合作,不断提高自主创新能力。将继续加大科技协同创新力度,聚合创新资源,推进军民融合和产学研深度合作,加快高技术成果转化和产业对接的步伐,不忘初心,砥砺前行。

 

捕鱼大富翁下载 澳洲幸运5技巧 打jdb财神捕鱼技巧 广西快乐10分预测 体彩青海11选5开奖号码 快乐十分彩票规律软件 伯乐彩票群 香港公益大乐透彩票中心 19日篮彩预测 北京快中彩规则 一码中特提前